電子行業(yè)廢氣治理方案

電子行業(yè)的廢氣治理一直一大難題，電子行業(yè)產(chǎn)生的廢氣種類多，治理難度大，排放的廢氣具有風(fēng)量大(通常大于11000m3/h)、VOCs濃度低(通常小于25ppm v)的特點。排放VOCs廢氣中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。這些問題困擾著很多企業(yè)。奧維環(huán)保跟大家一起分析一下改行業(yè)的廢氣特點及治理措施。

電子行業(yè)中的VOCs種類常見的就達30多種，主要來自半導(dǎo)體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑，去光刻膠類化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點的硫類和胺類之有機溶劑。

電子行業(yè)廢氣危害性：

電子行業(yè)廢氣中含有大量的有害物質(zhì)，如果不對這些廢氣處理的話，當(dāng)含有害物質(zhì)漂浮在空氣，不但對周邊的環(huán)境造成污染還會危及人類的身體健康，特別是在電子廠上班的員工，如果長期呼吸這類氣體，會對員工肺部有很大影響，造成各種疾病。

電子行業(yè)廢氣治理方法：

針對電子行業(yè)VOCs排放特點采用相應(yīng)的治理技術(shù)，主要方法還是吸附法、焚燒法。對于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體，治理技術(shù)一般采用多級廢氣治理方式，一般采用“噴淋塔淋洗+沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+催化燃燒”治理方案，對電子終端產(chǎn)品企業(yè)一般采用“漆霧過濾柜+活性炭吸附”治理方案。

沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+催化燃燒是使廢氣經(jīng)過預(yù)處理后,進入轉(zhuǎn)輪進行吸附凈化,達標(biāo)排放。當(dāng)沸石轉(zhuǎn)輪滿足脫附條件時,系統(tǒng)進行介質(zhì)再生。與CTO相配合,完成脫附和燃燒氧化,徹底分解VOCs分子，成生二氧化碳和水。該方案廢氣凈化率可達90%以上，且無二次污染。但是投資較高，有很多的企業(yè)無法接受動輒上百萬的廢氣處理投資。

活性炭吸附裝置通過利用高性能活性炭吸附劑固體本身的表面作用力,將有機廢氣分子之吸附質(zhì)吸引附著再吸附劑表面,能對苯、醇、酮、酯、汽油類等有機溶劑的廢氣吸附, 經(jīng)過活性碳吸附后，符合排放標(biāo)準(zhǔn)的凈化氣體經(jīng)風(fēng)機排放。適用于低濃度大風(fēng)量或高濃度間歇排放廢氣的作業(yè)環(huán)境。廣泛應(yīng)用于電子元件行業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的廢氣惡臭氣體凈化。